국내 과학자들 '쉽고 저렴한 나노패트닝'
‘블록공중합체를 이용한 대면적 나노패턴 제조법’
 
류상우 기자

국내 연구진이 반도체 칩이나 광전소자 제조에 사용하는 나노패터닝(Nano patterning)’을 기존보다 쉽고 저렴하게 할 수 있는 방법을 찾았다고 한다. “울산과학기술원(UNIST)은 김소연 에너지 및 화학공학부 교수와 권석준 KIST 책임연구원, 허수미 전남대 교수 공동 연구팀이 최근 블록공중합체를 이용한 대면적 나노패턴 제조 방법을 개발했다고 15일 밝혔다며, 조선닷컴은 이날 이번 연구결과는 미국과학진흥회(AAAS)에서 발행하는 종합과학분야 국제 학술지 사이언스 어드밴시스(Science Advances)’ 614일자로 실렸다고 소개했다.

 

이 나노패터닝(나노미터 크기의 규칙적인 구조를 기판 위에 구현하는 기술)의 발견에 관해 연구팀이 이용한 블록공중합체는 고분자 사슬간 반발력과 인력이 작용하면서 스스로 나노구조를 만드는 특성을 갖는다. 이 특성을 활용해 나노패턴을 만들면 다른 공정보다 저렴하고 빠르게 결과물을 얻을 수 있다며 조선닷컴은 그동안 블록공중합체를 활용해 나노패턴을 만드는 일은 패턴 방향 정렬과 패턴 내 구조적 결함을 제거하는 등에서 기술적 한계를 가졌다이 나노패턴을 만드는 공정이 복잡한 데다 소모되는 비용이 컸기 때문이라고 요약했다.

 

이들의 연구 실적에 관해 연구팀은 이 같은 두 가지 문제를 해결하기 위해 각각의 문제를 해결할 수 있는 실험적 설계를 고안했다며 조선닷컴은 먼저 선 패턴(stripe pattern)’을 형성하는 블록공중합체 박막 위에 밀어주는 힘을 가해 정렬 방향성을 만들었다이와 별도로 패턴 내에 생긴 구조적 결함은 용매 증기 처리 방식을 이용해 제거했다고 전했다. 용매 증기가 고분자 박막 내부에 침투하면 팽윤현상이 일어나 박막이 부풀어 오른 공간만큼 고분자 사슬들이 움직일 수 있어 불안정한 결함 구조가 제거되는 원리라고 한다.

 

연구팀은 이렇게 만들어진 나노패턴의 균일도를 분석해 기존 패턴보다 결함구조가 사라져 품질이 향상됐다는 사실을 확인했다, 조선닷컴은 제1저자인 김예찬 UNIST 화학공학과 석박사통합과정 연구원의 이 제작법은 매우 단순하지만, 대면적 내에서 우수한 패턴을 형성했다는 설명과 김소연 UNIST 교수의 블록공중합체를 이용한 나노패터닝에 관한 연구는 많지만 큰 면적의 나노패턴에서 배향 문제와 결함 제거를 한 번에 해결한 연구는 드물다. 반도체 뿐만 아니라 광전소자, 플라즈모닉 소자 등 다양한 소자의 나노패터닝에도 적용 가능할 것이라는 말도 전했다.

 

“‘쉽고 저렴한반도체 제조 핵심기술 개발이라는 조선닷컴의 기사에 한 네티즌(cs9968****)반도체를 위험시하는 영화가 나올까봐 걱정이다. 수구좌익 거시기는 영화를 보면 이상한 광기를 보이거든이라 했고, 다른 네티즌(kang2k****)이러한 결과물은 모두 참되고 참신한 창의적인 교육에서 기초함에 있는데, 현실은 거짓되고 그저 김정은과 문재인만 빠는 전교조의 그릇된 교육 현장 파괴 여파로 인해 이러한 인재들이 계속해서 키워져야 할 자유 대한민국 교육 현장이 파괴 되고...”라고 했고, 또 다른 네티즌(ygkim****)문재인만 조심하면 된다라고 했다. 

기사입력: 2019/06/15 [23:34]  최종편집: ⓒ allinkorea.net
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